GB/T 11446.1-2013电子级水国家标准文档下载 电子级水1 范围GB/T 11446 的本部分规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检测规则。本部分使用与电子和半导体工业永高纯清洗用水。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T 11446.3-2013 电子级水测试方法通则GB/T 11446.4-2013 电子级水电阻率的测试方法GB/T 11446.5-2013 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法GB/T 11446.6-2013 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法GB/T 11446.7-2013 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法GB/T 11446.8-2013 电子级水中总有机碳的测试方法GB/T 11446.9-2013 电子级水中微粒的仪器测试方法GB/T 11446.10-2013 电子级水细菌总数的滤膜培养测试方法3 术语和定义下列术语和定义适用于本文件。3.1电子级水 electronic grade water电子和半导体工艺过程中所用的高纯水。3.2电阻率 resistivity在规定温度下，1cm3(正立方体)水溶液两相...
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2017
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